ANGLE LAPPING 角度研磨—资讯硅业在线赢硅网

ANGLE LAPPING 角度研磨

硅业在线 | 来源：硅业在线浏览次数：1180 发布时间：2006年4月7日

摘要:

Angle Lapping 的目的是为了测量Junction的深度，所作的芯片前处理，这种采用光线干涉测量的方法就称之Angle Lapping。公式为Xj=λ/2 NF即Junction深度等于入射光波长的一半与干涉条纹数之乘积。但渐渐的随着VLSI组件的缩小，准确度及精密度都无法因应。如SRP(Spreading Resistance Prqbing)也是应用Angle Lapping的方法作前处理，采用的方法是以表面植入浓度与阻值的对应关系求出Junction的深度，精确度远超过入射光干涉法。

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