空气净化技术:多晶硅尾气各主要成分的体积分数分别为，HCl 30%;H2 64.2%;SIHCl3 5.4%;其他0.2%。多晶硅尾气均为可回收的产品或可循环使用的原料。对尾气进行有效的治理，不仅可以提高原料的利用率，还可以降低三废的排放量。为了合理治理尾气，必须根据尾气的特性、成分、压力等，选择适当的工艺流程和技术条件。

　　利用以上几种组份的沸点差异、溶解度差异和在吸附剂上附着能力的差异，可以将以上几种组份完全分开。以下两种工艺技术处理多晶硅尾气：

　　分离方法：

　　1、 冷凝吸附法

　　多晶硅尾气进入冷凝分离系统，增压后的合成气被降温，氯硅烷和氯化氢被分离出来，然后通过精馏将氯化氢和氢气分离，氢气进入吸附精制系统，得到高纯度的精制氢气。

　　冷凝分离系统由制冷压缩机组、精馏塔和泵组成，吸附精制系统由吸附塔、加热器和冷却器组成。

　　2、 变压吸附法

　　变压吸附系统由吸附塔、换热器和缓冲罐和组成。任意时刻都有吸附塔处于吸附状态，其余处于再生状态。通过氢气、氯化氢、氯硅烷在吸附剂表面上吸附能力的差异，将氢气、三氯氢硅、氯化氢分离开。吸附剂通过升温和降压的方式得到再生。再生结束，吸附塔又重新具备处理三氯氢硅尾气并生产氢气的能力。

　　经过这一系列过程后吸附塔便完成了一个完整的“吸附-再生”循环，又为下一次吸附做好了准备。各吸附塔交替进行吸附、再生，即可实现气体的连续分离与提纯。