一次成晶,而且是整根完整的单晶。日前,山东有研半导体材料有限公司传出好消息:8英寸半导体级直拉硅单晶一次性拉制成功!该公司副总经理刘斌兴奋不已:这是在德州经开区新厂区使用新设备生产的,是山东省首根半导体级8英寸直拉硅单晶,标志着该产品在德州量产迈出了关键一步。
刘斌感叹半导体级直拉硅单晶拉制过程的不易:“对水、电和氩气等动力条件的供应稳定性要求非常苛刻,比如,外部电网频闪就容易造成单晶拉制失败,汶川地震时,千里之外的北京工厂正拉制的硅单晶因液面抖动就坏了。 ”
山东有研公司是有研科技集团有限公司的子公司,是有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目的建设者。该项目总投资80亿元,已入选山东省新旧动能转换重大项目库,并列入2019年度重点项目。项目包括两个部分,分别为年产276万片8英寸集成电路用硅片和年产360万片12英寸集成电路用大硅片。
在今年新冠肺炎疫情的不利形势下,产品拉制成功的时间仍提前半年,山东有研公司管理者津津乐道的是德州和经开区的各种给力——
2018年8月23日,有研公司办理营业执照,经开区审批部门开辟绿色通道,当天申请当天发照。
疫情发生后,经开区管委会通过点对点接外地工人回德州,保证项目建设正常进行。项目运行需要水电气,相关部门早已将管道铺设完毕。
今年6月,为确保设备能够在7月上旬开始搬入,经开区创新推出了“早餐例会”新机制。每天早晨7:30,利用早餐时间,召集山东有研、施工各单位和监理公司,通报工程建设进度,分析存在问题,研究解决措施。“来德州,我们来对了。 ”山东有研公司总工程师肖清华感慨说,当初从10余个城市中选中德州,他们看中的是德州融入京津冀协同发展的政策优势,坐高铁到北京仅1个多小时的区位优势,更有完善的配套设施、干部的实干担当精神。“有研项目是德州对接京津冀协同发展国家战略、主动承接北京非首都功能疏解和高新技术产业转移转化的重点项目。项目落户德州,既是我们坚持政府创造环境、企业创造财富理念,持续提升营商环境的结果,也是打造完善承接平台、加快产业集群发展的结果。”市政府党组成员、秘书长、开发区体制机制改革创新工作专班主要负责人王震秀说。
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